Synthèse par MOCVD (conventionnelle et à injection), caractérisations structurale et physique de films supraconducteurs d'YBa2Cu3O(7-(delta)) et de multicouches YBa2Cu3O(7-(delta))/PrBa2Cu3O(7-(delta)

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1998 - 224 pages
DEUX TYPES DE REACTEURS DE DEPOT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR ONT ETE UTILISES POUR LA REALISATION DE FILMS MINCES D'YBA#2CU#3O#7## ET PRBA#2CU#3O#7# ## #, AINSI QUE DE MULTICOUCHES ALTERNANT CES DEUX COMPOSES. LA SOURCE DU PREMIER REACTEUR EST CONSTITUEE DE QUATRE FOURS CONTENANT CHACUN UN DES PRECURSEURS ORGANOMETALLIQUE (M-TETRAMETHYL-HEPTANE-DIONATE) SOUS FORME DE POUDRE. LA SOURCE DU SECOND REACTEUR EST CONSTITUEE D'UN RESERVOIR CONTENANT UN MELANGE LIQUIDE SOLVANT - PRECURSEUR, SOUS PRESSION, A TEMPERATURE AMBIANTE, RELIE A UNE MICRO-VANNE OU INJECTEUR. CETTE DERNIERE SOURCE PERMET DE CONTROLER AVEC PRECISION LA QUANTITE DE PRECURSEUR INJECTEE VERS LA ZONE DE DEPOT. DES COUCHES MINCES DE YBCO ET DE PBCO ONT ETE DEPOSEES. DANS LES DEUX CAS, LES FILMS SONT EPITAXIES SUR LE SUBSTRAT (SRTIO#3 OU LAALO#3) ET PRESENTENT LES CARACTERISTIQUES SUIVANTES : POUR YBA#2CU#3O#7## T#C = 92 K,

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